清华大学向坤道引进SanjSCOPE反射率热成像仪

日期:2021-01-19

2020年,清华大学通过反复调研,认真对比,最终决定选择上海坤道信息技术有限公司的反射率热成像仪SanjSCOPE,。此次清华大学采购的反射率热成像仪是美国Microsanj公司的旗舰产品NT220C的增强型号,专门用于亚微米级别的微电子系统的正面热成像。该设备的主要技术指标包括:

  • 采用了基于lock-in技术的反射率热成像技术;
  • 光谱范围覆盖了从紫外365nm到近红外1050nm,满足了对GaN,SiC等第三代半导体材料器件的测试需求;
  • 当采用可见光405nm的LED时,空间分辨率可达270 nm,采用365nm的LED时,空间分辨率高达243nm;
  • 配备了最高成像像素高达2048*2048的CMOS探测器,像素分辨率高达55nm;
     
清华大学表示,该系统满足了他们对亚微米级别的微电子系统进行热分析的需求,通过该设备,他们可以对器件展开如下研究测试器件表面温度分布;进行热点区域检测,快速而准确地定位缺陷,以作为器件的缺陷和失效分析的表征手段;分析电子器件的瞬态热成像过程。

    

SanjscopeTM热成像系统究竟有什么特点,能够让清华大学所青睐呢?

 

基于反射率的热成像系统,结合数字信号处理手段以及先进的软件算法,为用户提供了一个高空间分辨率,可以对微电子系统进行非破坏性热分析的通用工具。通过热成像系统的加强型热成像技术,用户可以对器件的热特性进行更为深刻的理解,从而提高器件的性能和可靠性。

 

SanjscopeTM纳秒级正面热成像系统在采用了先进的反射率热成像技术(TR)的基础上,结合可见光光源以及400万像素的探测器,真正实现了亚微米级别的空间分辨率,从而被广泛地应用于大量的电子器件及光电子器件的热成像表征应用中。

 

 

清华大学的前身清华学堂始建于1911年,是中华人民共和国教育部直属的全国重点大学,位列国家“双一流”A类、“985工程”、“211工程

 

 

上海坤道信息技术有限公司在热成像系统及仿真、测试领域,已具有超过20年服务经验,并且前身为Mentor Graphics 公司流体分析、热设计和热测试部门(原英国Flomerics公司中国代表处)的业务部门,在产品质量和技术服务能力上,深受行业人士信赖。依靠过硬的技术售后服务能力,积累了一众标杆客户。客户覆盖航空航天、国防、电子半导体、通讯、计算机、研究机构以及像清华大学、复旦大学、浙江大学、华中科技大学等国内顶尖的高等院校。

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